97无码免费人妻超级碰碰碰碰_国产裸模视频免费区无码_先锋影音视频一区视频二区_国产精品黄色片在线观看

你知道含氟蝕刻氣體都有哪些么?
當(dāng)前位置:首頁 - 新聞中心

你知道含氟蝕刻氣體都有哪些么?

時(shí)間:2021-07-29 14:15:33 點(diǎn)擊:1679 次 來源: 洛陽特來化工科技有限公司

  現(xiàn)在,含氟蝕刻氣體是一把無形的“刀”,被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體或LCD前段制程,甚至可以在微米厚的薄膜上刻出納米級(jí)的溝槽。你能腦補(bǔ)那個(gè)畫面嗎?

  那么,含氟蝕刻氣體都有哪些?它們又是如何進(jìn)行工作的呢?

四氟化碳

  蝕刻所用氣體稱蝕刻氣體, 通常多為氟化物氣體, 例如四氟化碳、全氟丁二烯、三氟化氮、六氟乙烷、全氟丙烷、三氟甲烷等。

  含氟蝕刻氣體是電子氣體的一個(gè)重要分支,是超大規(guī)模集成電路、平面顯示器件、太陽能電池,光纖等電子工業(yè)生產(chǎn)不可或缺的原材料,廣泛應(yīng)用于薄膜、蝕刻、摻雜、氣相沉積、擴(kuò)散等半導(dǎo)體工藝。在國家發(fā)展改革委《產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)調(diào)整指導(dǎo)目錄(2011年本)(修正)》中,電子氣體被列入國家重點(diǎn)鼓勵(lì)發(fā)展的產(chǎn)品和產(chǎn)業(yè)目錄。

  蝕刻方式有濕法化學(xué)蝕刻和干法化學(xué)蝕刻。

  干法蝕刻由于蝕刻方向性強(qiáng)、工藝控制精確、方便、無脫膠現(xiàn)象、無基片損傷和沾污, 所以其應(yīng)用范圍日益廣泛。

  蝕刻就是把基片上無光刻膠掩蔽的加工表面如氧化硅膜、金屬膜等蝕刻掉, 而使有光刻膠掩蔽的區(qū)域保存下來, 這樣便在基片表面得到所需要的成像圖形。蝕刻的基本要求是, 圖形邊緣整齊, 線條清晰, 圖形變換差小, 且對(duì)光刻膠膜及其掩蔽保護(hù)的表面無損傷和鉆蝕。

  氣瓶儲(chǔ)存堆放有哪些注意事項(xiàng)呢?

  在氣瓶使用過程中,任何操作步驟都不能疏忽。尤其是在氣瓶儲(chǔ)存的時(shí)候,更應(yīng)當(dāng)嚴(yán)守安全規(guī)范守則,細(xì)心檢查每個(gè)要點(diǎn),具體的氣瓶儲(chǔ)存堆放有哪些注意事項(xiàng)呢?

  1、氣瓶宜存儲(chǔ)在室外帶遮陽、雨篷的場所。

  2、存儲(chǔ)在室內(nèi)時(shí),建筑物應(yīng)符合有關(guān)標(biāo)準(zhǔn)要求。

  3、氣瓶立式存放時(shí)應(yīng)有防倒裝置,臥放時(shí)要防止?jié)L動(dòng),頭部朝向一方,堆放高度不得超過五層。

  4、氣瓶存儲(chǔ)室不得設(shè)在地下室或半地下室,也不能和辦公室或休息室設(shè)在一起。

  5、存儲(chǔ)場所應(yīng)通風(fēng)、干燥,防止雨()淋、水浸、避免陽光直射。

  6、嚴(yán)禁明火和其他熱源,不得有地溝、暗道和底部通風(fēng)孔,并且嚴(yán)禁任何管線穿過。

  7、存放氣瓶要防止陽光直接曝曬以及其它高溫?zé)嵩吹妮椪占訜?,季瓶庫?nèi)溫度應(yīng)保持在35℃以下,以免引起氣體膨脹的爆炸。

  8、瓶庫內(nèi)不得存放易燃、可燃易爆物品,瓶庫周圍10米內(nèi)禁上堆放以上物品。

  9、存儲(chǔ)可燃、爆炸性氣體氣瓶的庫房內(nèi)照明設(shè)備必須防爆,電器開關(guān)和熔斷器都應(yīng)設(shè)置在庫房外,同時(shí)應(yīng)設(shè)避雷裝置。

  10、禁止將氣瓶放置到可能導(dǎo)電的地方。

網(wǎng)站首頁 網(wǎng)站首頁 電話咨詢電話咨詢 返回頂部返回頂部